文献
J-GLOBAL ID:200902170202699531
整理番号:02A0173363
ナノインプリント技術によるスピンオンガラスにおける室温複製
Room temperature replication in spin on glass by nanoimprint technology.
著者 (8件):
MATSUI S
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
IGAKU Y
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
ISHIGAKI H
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
FUJITA J
(NEC Fundamental Res. Lab., Ibaraki, JPN)
,
ISHIDA M
(NEC Fundamental Res. Lab., Ibaraki, JPN)
,
OCHIAI Y
(NEC Fundamental Res. Lab., Ibaraki, JPN)
,
KOMURO M
(AIST, Ibaraki, JPN)
,
HIROSHIMA H
(AIST, Ibaraki, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
19
号:
6
ページ:
2801-2805
発行年:
2001年11月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)