文献
J-GLOBAL ID:200902170228057163
整理番号:99A0615599
シリコン(111)面の微細加工
Micromachining on (111)-oriented silicon.
著者 (3件):
CHOU B C S
(National Sci. Council, Hsinchu, TWN)
,
CHEN C-N
(National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN)
,
SHIE J-S
(National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
A75
号:
3
ページ:
271-277
発行年:
1999年06月08日
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)