文献
J-GLOBAL ID:200902170294960869
整理番号:00A0858635
二周波数容量結合プラズマにおけるバイアス電圧と保持電圧の機能的分離
Functional Separation of biasing and sustaining voltages in two-frequency capacitively coupled plasma.
著者 (4件):
KITAJIMA T
(Keio Univ., Yokohama, JPN)
,
TAKEO Y
(Keio Univ., Yokohama, JPN)
,
PETROVIC Z L
(Keio Univ., Yokohama, JPN)
,
MAKABE T
(Keio Univ., Yokohama, JPN)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
77
号:
4
ページ:
489-491
発行年:
2000年07月24日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)