文献
J-GLOBAL ID:200902170360163924
整理番号:00A0663999
真空シールを用いたディスク形バルク微細加工ジャイロスコープ
Disk-shaped bulk micromachined gyroscope with vacuum sealing.
著者 (7件):
FUJITA T
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
MAENAKA K
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
MIZUNO T
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
MATSUOKA T
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
KOJIMA T
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
OSHIMA T
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
MAEDA M
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
A82
号:
1/3
ページ:
198-204
発行年:
2000年05月15日
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)