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文献
J-GLOBAL ID：200902170579965082
整理番号：98A0766959
シンクロトロン放射リソグラフィーで実現した微細PZTロッドの圧電複合材
Piezocomposite of Fine PZT Rods Realized with Synchrotron Radiation Lithography.
HIRATA Y
(Sumitomo Electric Ind., Ltd.)
,
NAKAISHI H
(Sumitomo Electric Ind., Ltd.)
,
NUMAZAWA T
(Sumitomo Electric Ind., Ltd.)
,
TAKADA H
(Sumitomo Electric Ind., Ltd.)
資料名：
Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium
(Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium)
巻： 1997 号： Vol.2 ページ： 877-881 発行年： 1997年
JST資料番号： A0437C ISSN： 1051-0117 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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