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文献
J-GLOBAL ID：200902170671362106
整理番号：01A0552178
rfプラズマCVDで作製した窒素ドープ非晶質炭素膜の光学特性と構造特性
Optical and structural properties of nitrogen doped amorphous carbon films grown by rf plasma-enhanced CVD.
HAYASHI Y
(Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
,
KRISHNA K M
(Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
,
EBISU H
(Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
,
SOGA T
(Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
,
UMENO M
(Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
,
JIMBO T
(Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 10 号： 3/7 ページ： 1002-1006 発行年： 2001年03月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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