文献
J-GLOBAL ID:200902170742815085
整理番号:97A0014628
低g応用向けの集積化力平衡形静電容量式加速度計
An integrated force-balanced capacitive accelerometer for low-g applications.
著者 (6件):
CHAU K H-L
(Analog Devices, Inc., MA, USA)
,
LEWIS S R
(Analog Devices, Inc., MA, USA)
,
ZHAO Y
(Analog Devices, Inc., MA, USA)
,
HOWE R T
(Univ. California, CA, USA)
,
BART S F
(Analog Devices, Inc., MA, USA)
,
MARCHESELLI R G
(Analog Devices, Inc., MA, USA)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
54
号:
1/3
ページ:
472-476
発行年:
1996年06月
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)