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J-GLOBAL ID：200902170795613891 整理番号：02A0622569

SiドープAlNおよび高Al組成AlGaNのn型伝導性制御

Control of n-type conduction for Si-doped AlN and AlGaN with high Al content.

著者 (3件)：

谷保芳孝

(NTT 物性科学基礎研)

嘉数誠

(NTT 物性科学基礎研)

小林直樹

(NTT 物性科学基礎研)

資料名：

電子情報通信学会技術研究報告 (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))

巻： 102 号： 114(ED2002 44-72) ページ： 61-64 発行年： 2002年06月13日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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