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文献
J-GLOBAL ID：200902170942009750
整理番号：98A0913422
ミクロ構造を操作し最適化するSi膜の制御したスーパーラテラル成長
Controlled Super-Lateral Growth of Si Films for Microstructural Manipulation and Optimization.
IM J S
(Columbia Univ., NY, USA)
,
CROWDER M A
(Columbia Univ., NY, USA)
,
SPOSILI R S
(Columbia Univ., NY, USA)
,
LEONARD J P
(Columbia Univ., NY, USA)
,
KIM H J
(Columbia Univ., NY, USA)
,
YOON J H
(Columbia Univ., NY, USA)
,
GUPTA V V
(Columbia Univ., NY, USA)
,
SONG H J
(Columbia Univ., NY, USA)
,
CHO H S
(Columbia Univ., NY, USA)
資料名：
Physica Status Solidi. A. Applied Research
(Physica Status Solidi. A. Applied Research)
巻： 166 号： 2 ページ： 603-617 発行年： 1998年04月16日
JST資料番号： D0774A ISSN： 0031-8965 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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