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文献
J-GLOBAL ID：200902170977486941
整理番号：00A0185549
A Novel Approach for Integrated Passive Device Fabrication.
SYKORA G
(Ohmite Manufacturing, Il.)
,
PABICH R
(Ohmite Manufacturing, Il.)
,
O’SHEA J
(Ohmite Manufacturing, Il.)
,
GLEASON L
(Ohmite Manufacturing, Il.)
,
SABO C
(Heraeus Inc., PA)
,
WOOD J
(Heraeus Inc., PA)
,
BARNWELL P
(Heraeus Inc., PA)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 3906 ページ： 505-509 発行年： 1999年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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