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J-GLOBAL ID：200902171362667292 整理番号：93A0649007

連続的に位相差が変化するエッジを持った位相シフトマスクの作製

Fabrication Techniques for Continuous Phase Transitions.

著者 (6件)：

斎藤太郎

(沖電気工業)

神保秀之

(沖電気工業)

宅島克宏

(沖電気工業)

矢野賢吾

(沖電気工業)

遠坂康郎

(沖電気工業)

田中喜男

(沖電気工業)

資料名：

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)

巻： 40th 号： Pt 2 ページ： 609 発行年： 1993年03月
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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