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文献
J-GLOBAL ID：200902171667436134
整理番号：99A0636374
マイクロ光学によるシリコンベンチの集積化
Integration of Silicon Bench with Micro Optics.
HAN H
(Digital Optics Corp., NC)
,
STACK J D
(Digital Optics Corp., NC)
,
MATHEWS J
(Digital Optics Corp., NC)
,
KOEHLER C S
(Digital Optics Corp., NC)
,
JOHNSON E
(Digital Optics Corp., NC)
,
KATHMAN A D
(Digital Optics Corp., NC)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 3631 ページ： 234-243 発行年： 1999年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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