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文献
J-GLOBAL ID：200902171784961363
整理番号：97A0014656
ガス流量計用のポリシリコン流量センサ
A polysilicon flow sensor for gas flow meters.
NEDA T
(Tokyo Gas Co., Ltd., Yokohama, JPN)
,
NAKAMURA K
(Tokyo Gas Co., Ltd., Yokohama, JPN)
,
TAKUMI T
(Tokyo Gas Co., Ltd., Yokohama, JPN)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 54 号： 1/3 ページ： 626-631 発行年： 1996年06月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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