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文献
J-GLOBAL ID：200902171795251546
整理番号：02A0075956
半導体・FPD(フラットパネルディスプレイ)の検査・製造装置 大流量排気型ターボ分子ポンプの開発
Semicondactor and Flat Panel Display. Development of High Throughput Turbo Molecular Pumps.
山口均
(島津製作所 産業機械事業部 技術部)
,
久保雅英
(島津製作所 産業機械事業部 技術部)
,
太田知男
(島津製作所 産業機械事業部 技術部)
,
長野善宏
(島津製作所 産業機械事業部 技術部)
,
伊藤喜直
(島津製作所 産業機械事業部 技術部)
資料名：
島津評論
(Shimadzu Review)
巻： 58 号： 1/2 ページ： 11-16 発行年： 2001年12月05日
JST資料番号： F0302A ISSN： 0371-005X CODEN： SHHYAG 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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