文献
J-GLOBAL ID:200902171908505400
整理番号:93A0682394
プラズマ増強化学蒸着で作製したゲルマニウム膜の結晶化過程での構造の発展
Structural evolution during the crystallization process of germanium films prepared by plasma enhanced chemical vapour deposition.
著者 (4件):
JIANG J
(Nanjing Univ., Nanjing, CHN)
,
CHEN K
(Nanjing Univ., Nanjing, CHN)
,
FENG D
(Nanjing Univ., Nanjing, CHN)
,
SUN D
(Southeast Univ., Nanjing, CHN)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
230
号:
1
ページ:
7-9
発行年:
1993年07月15日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)