文献
J-GLOBAL ID:200902171928944256
整理番号:01A0542593
誘導結合気体放電における電場
Electric field in inductively coupled gas discharges.
著者 (3件):
PIEJAK R
(OSRAM SYLVANIA, Massachusetts)
,
GODYAK V
(OSRAM SYLVANIA, Massachusetts)
,
ALEXANDROVICH B
(OSRAM SYLVANIA, Massachusetts)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
89
号:
7
ページ:
3590-3593
発行年:
2001年04月01日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)