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文献
J-GLOBAL ID：200902172472277194
整理番号：02A0200695
局所的機械応力制御(LMC) CMOS性能強化のための新技術
Local Mechanical-Stress Control(LMC): A New Technique for CMOS-Performance Enhancement.
SHIMIZU A
(Hitachi ULSI Systems, Co., Ltd., JPN)
,
HACHIMINE K
(Hitachi ULSI Systems, Co., Ltd., JPN)
,
OHKI N
(Hitachi ULSI Systems, Co., Ltd., JPN)
,
OHTA H
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
,
KOGUCHI M
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
,
NONAKA Y
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
,
SATO H
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
,
OOTSUKA F
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
資料名：
Technical Digest. International Electron Devices Meeting
(Technical Digest. International Electron Devices Meeting)
巻： 2001 ページ： 433-436 発行年： 2001年
JST資料番号： C0829B ISSN： 0163-1918 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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