文献
J-GLOBAL ID:200902172587695348
整理番号:98A0408509
干渉測定裏焦平面マイクロ楕円偏光法
Interferometric back focal plane microellipsometry.
著者 (5件):
FEKE G D
(Yale Univ., Connecticut)
,
SNOW D P
(Yale Univ., Connecticut)
,
GROBER R D
(Yale Univ., Connecticut)
,
DE GROOT P J
(Zygo Corp., Connecticut)
,
DECK L
(Zygo Corp., Connecticut)
資料名:
Applied Optics
(Applied Optics)
巻:
37
号:
10
ページ:
1796-1802
発行年:
1998年04月01日
JST資料番号:
B0026B
ISSN:
1559-128X
CODEN:
APOPAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)