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文献
J-GLOBAL ID：200902172725031383
整理番号：01A0212534
TiNのハイブリッドラジカルビーム-パルスレーザ蒸着によるSiのバリアメタル成長
Si Barrier Metal Growth by Hybrid Radical Beam-Pulsed Laser Deposition of TiN.
OBATA K
(RIKEN (Inst. Physical and Chemical Res.), Saitama, JPN)
,
SUGIOKA K
(RIKEN (Inst. Physical and Chemical Res.), Saitama, JPN)
,
TOYODA K
(Sci. Univ. Tokyo, Chiba, JPN)
,
TAKAI H
(Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
,
MIDORIKAWA K
(RIKEN (Inst. Physical and Chemical Res.), Saitama, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 39 号： 12B ページ： 7031-7034 発行年： 2000年12月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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