文献
J-GLOBAL ID:200902172747029501
整理番号:96A0481519
25nm分解能をもつ転写リソグラフィー
Imprint Lithography with 25-Nanometer Resolution.
著者 (3件):
CHOU S Y
(Univ. Minnesota, MN, USA)
,
KRAUSS P R
(Univ. Minnesota, MN, USA)
,
RENSTROM P J
(Univ. Minnesota, MN, USA)
資料名:
Science
(Science)
巻:
272
号:
5258
ページ:
85-87
発行年:
1996年04月05日
JST資料番号:
E0078A
ISSN:
0036-8075
CODEN:
SCIEA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)