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文献
J-GLOBAL ID：200902172892236701
整理番号：98A0608021
光スイッチングのための高アスペクト比Si垂直マイクロミラーアレイ
High-Aspect-Ratio Si Vertical Micromirror Arrays for Optical Switching.
JUAN W-H
(Univ. Michigan, MI, USA)
,
PANG S W
(Univ. Michigan, MI, USA)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 7 号： 2 ページ： 207-213 発行年： 1998年06月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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