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文献
J-GLOBAL ID：200902173104600429
整理番号：96A0567954
ホットフィラメント化学蒸着を用いたシリコン上の(111)ダイヤモンドの配向集合組織化成長
Oriented and textured growth of (111) diamond on silicon using hot filament chemical vapour deposition.
CHEN Q
(Inst. Physics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN)
,
CHEN Y
(Inst. Physics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN)
,
YANG J
(Inst. Physics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN)
,
LIN Z
(Inst. Physics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 274 号： 1/2 ページ： 160-164 発行年： 1996年03月
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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