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文献
J-GLOBAL ID：200902173143921097
整理番号：98A0254920
プラズマソースイオン注入による3次元立体物へのイオン注入
Plasma Source Ion Implantation into a Three-Dimensional Substrate.
馬場恒明
(長崎県工技セ)
,
畑田留理子
(長崎県工技セ)
資料名：
表面技術
(Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 49 号： 2 ページ： 176-179 発行年： 1998年02月
JST資料番号： G0441B ISSN： 0915-1869 CODEN： HYGIEX 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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