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文献
J-GLOBAL ID:200902173143921097   整理番号:98A0254920

プラズマソースイオン注入による3次元立体物へのイオン注入

Plasma Source Ion Implantation into a Three-Dimensional Substrate.
著者 (2件):
馬場恒明
(長崎県工技セ)
畑田留理子
(長崎県工技セ)

資料名:
表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)

巻: 49  号:ページ: 176-179  発行年: 1998年02月 
JST資料番号: G0441B  ISSN: 0915-1869  CODEN: HYGIEX  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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