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文献
J-GLOBAL ID：200902173656659380
整理番号：96A0004669
高温での金属-酸化物-炭化けい素素子の可逆的な水素アニーリング
Reversible hydrogen annealing of metal-oxide-silicon carbide devices at high temperatures.
BARANZAHI A
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
SPETZ A L
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
LUNDSTROEM I
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 67 号： 21 ページ： 3203-3205 発行年： 1995年11月20日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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