文献
J-GLOBAL ID:200902173700373383
整理番号:94A0091497
熱電的に制御するバイモルフ片持ち梁後方の流体作動膜付き微細加工弁
Micromachined valve with hydraulically actuated membrane subsequent to a thermoelectrically controlled bimorph cantilever.
著者 (6件):
TRAH H-P
(Robert Bosch GmbH, Stuttgart, DEU)
,
BAUMANN H
(Robert Bosch GmbH, Stuttgart, DEU)
,
DOERING C
(Robert Bosch GmbH, Stuttgart, DEU)
,
GOEBEL H
(Robert Bosch GmbH, Stuttgart, DEU)
,
GRAUER T
(Robert Bosch GmbH, Stuttgart, DEU)
,
METTNER M
(Robert Bosch GmbH, Stuttgart, DEU)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
39
号:
2
ページ:
169-176
発行年:
1993年11月
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)