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文献
J-GLOBAL ID：200902173783132625
整理番号：01A0271154
固体OMVPEソースのためのシリンダ設計の研究
A study of cylinder design for solid OMVPE sources.
TIMMONS M
(Rohm and Haas Co., MA, USA)
,
RANGARAJAN P
(Rohm and Haas Co., MA, USA)
,
STENNICK R
(Rohm and Haas Co., MA, USA)
資料名：
Journal of Crystal Growth
(Journal of Crystal Growth)
巻： 221 ページ： 635-639 発行年： 2000年12月
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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