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文献
J-GLOBAL ID：200902173820637589
整理番号：94A0053923
Deposition of conductive and nonconductive hard coatings on metallic and ceramic materials by RF-PA-CVD.
Abscheidung leitender und nichtleitender Hartstoffschichten auf metallischen und keramischen Werkstoffen mittels Hochfrequenz-Plasma-CVD.
RIE K-T
(TU Braunschweig, Braunschweig)
,
GEBAUER A
(TU Braunschweig, Braunschweig)
,
WOEHLE J
(TU Braunschweig, Braunschweig)
,
WEBER M
(TU Braunschweig, Braunschweig)
資料名：
Materialwissenschaft und Werkstofftechnik
(Materialwissenschaft und Werkstofftechnik)
巻： 24 号： 11 ページ： 392-396 発行年： 1993年11月
JST資料番号： C0781A ISSN： 0933-5137 CODEN： MATWER 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： ドイツ (DEU) 言語： ドイツ語 (DE)
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