文献
J-GLOBAL ID:200902173849394260
整理番号:93A0315123
GaAsスパッタ膜の構造と光学的性質に対する基板温度変化の効果
The effect of varying substrate temperature on the structural and optical properties of sputtered GaAs films.
著者 (6件):
BAKER S H
(Univ. Leicester, Leicester, GBR)
,
BAYLISS S C
(Loughborough Univ. Technology, Leicestershire, GBR)
,
GURMAN S J
(Univ. Leicester, Leicester, GBR)
,
ELGUN N
(Univ. Leicester, Leicester, GBR)
,
BATES J S
(Loughborough Univ. Technology, Leicestershire, GBR)
,
DAVIS E A
(Univ. Leicester, Leicester, GBR)
資料名:
Journal of Physics. Condensed Matter
(Journal of Physics. Condensed Matter)
巻:
5
号:
5
ページ:
519-534
発行年:
1993年02月01日
JST資料番号:
B0914B
ISSN:
0953-8984
CODEN:
JCOMEL
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)