文献
J-GLOBAL ID:200902174026374235
整理番号:00A0207744
Fabrication of fine metal microstructures packaged in the bonded glass substrates.
著者 (3件):
KAWAMURA A
(Waseda Univ., Tokyo, JPN)
,
IKE S
(Waseda Univ., Tokyo, JPN)
,
SHOJI S
(Waseda Univ., Tokyo, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
3893
ページ:
486-493
発行年:
1999年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)