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文献

J-GLOBAL ID：200902174115022083 整理番号：95A0933704

Straightness measurement using laser beam straight datum.

著者 (4件)：

UCHIKOSHI J

(Osaka Univ., Osaka, JPN)

SHIMADA S

(Osaka Univ., Osaka, JPN)

IKAWA N

(Osaka Univ., Osaka, JPN)

KOMURA A

(Osaka Univ., Osaka, JPN)

資料名：

Proceedings of SPIE (Proceedings of SPIE)

巻： 2576 ページ： 315-322 発行年： 1995年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別：会議録 (C)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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