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文献
J-GLOBAL ID：200902174212674052
整理番号：93A0953232
NO2を用いた光支援有機金属化学気相成長法によるPb(Zr,Ti)O3の薄膜成長
Thin Film Growth of Pb(Zr,Ti)O3 by Photoenhanced Metalorganic Chemical Vapor Deposition Using NO2.
SHIMIZU M
(Kyoto Univ., Kyoto)
,
KATAYAMA T
(Kyoto Univ., Kyoto)
,
SUGIYAMA M
(Kyoto Univ., Kyoto)
,
SHIOSAKI T
(Kyoto Univ., Kyoto)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 32 号： 9B ページ： 4074-4077 発行年： 1993年09月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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