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文献
J-GLOBAL ID：200902174559650986
整理番号：02A0173370
集束イオンビーム化学蒸着により成長させた三次元ナノ構造及びピラーにおける機械振動の観察と評価
Observation and characteristics of mechanical vibration in three-dimensional nanostructures and pillars grown by focused ion beam chemical vapor deposition.
FUJITA J
(NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN)
,
ISHIDA M
(NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN)
,
SAKAMOTO T
(NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN)
,
OCHIAI Y
(NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN)
,
KAITO T
(Seiko Instruments Inc., Shizuoka, JPN)
,
MATSUI S
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 19 号： 6 ページ： 2834-2837 発行年： 2001年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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