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文献
J-GLOBAL ID:200902174559650986   整理番号:02A0173370

集束イオンビーム化学蒸着により成長させた三次元ナノ構造及びピラーにおける機械振動の観察と評価

Observation and characteristics of mechanical vibration in three-dimensional nanostructures and pillars grown by focused ion beam chemical vapor deposition.
著者 (6件):
FUJITA J
(NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN)
ISHIDA M
(NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN)
SAKAMOTO T
(NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN)
OCHIAI Y
(NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN)
KAITO T
(Seiko Instruments Inc., Shizuoka, JPN)
MATSUI S
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)

資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)

巻: 19  号:ページ: 2834-2837  発行年: 2001年11月 
JST資料番号: E0974A  ISSN: 1071-1023  CODEN: JVTBD9  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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