文献
J-GLOBAL ID:200902174792903894
整理番号:93A0309001
Si(001)上Ge薄層のその場酸化 GeOからSiO2への遷移の観察
In situ oxidation of a thin layer of Ge on Si(001): Observation of GeO to SiO2 transition.
著者 (5件):
PRABHAKARAN K
(NTT Basic Research Lab., Tokyo, JPN)
,
NISHIOKA T
(NTT Basic Research Lab., Tokyo, JPN)
,
SUMITOMO K
(NTT Basic Research Lab., Tokyo, JPN)
,
KOBAYASHI Y
(NTT Basic Research Lab., Tokyo, JPN)
,
OGINO T
(NTT Basic Research Lab., Tokyo, JPN)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
62
号:
8
ページ:
864-866
発行年:
1993年02月22日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)