文献
J-GLOBAL ID:200902175030940721
整理番号:02A0526292
アンモニアミクロセンサ用のCuBrスパッタリング薄膜 形態,組成及びエージング
Sputtered thin films of CuBr for ammonia microsensors: morphology, composition and ageing.
著者 (5件):
BENDAHAN M
(Fac. Sci. St Jerome, Marseille, FRA)
,
LAUQUE P
(Fac. Sci. St Jerome, Marseille, FRA)
,
LAMBERT-MAURIAT C
(Fac. Sci. St Jerome, Marseille, FRA)
,
CARCHANO H
(Fac. Sci. St Jerome, Marseille, FRA)
,
SEGUIN J-L
(Fac. Sci. St Jerome, Marseille, FRA)
資料名:
Sensors and Actuators. B. Chemical
(Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻:
B84
号:
1
ページ:
6-11
発行年:
2002年04月30日
JST資料番号:
T0967A
ISSN:
0925-4005
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)