文献
J-GLOBAL ID:200902175531377415
整理番号:96A1019041
原子間力顕微鏡を用いた熱的書込みと圧抵抗リードバックのための低剛性けい素カンチレバー
Low-stiffness silicon cantilevers for thermal writing and piezoresistive readback with the atomic force microscope.
著者 (6件):
CHUI B W
(Stanford Univ., California)
,
STOWE T D
(Stanford Univ., California)
,
KENNY T W
(Stanford Univ., California)
,
MAMIN H J
(IBM Res. Div., California)
,
TERRIS B D
(IBM Res. Div., California)
,
RUGAR D
(IBM Res. Div., California)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
69
号:
18
ページ:
2767-2769
発行年:
1996年10月28日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)