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文献
J-GLOBAL ID：200902175709986593
整理番号：98A0810713
化学蒸着プロセスによるダイヤモンド蒸着 バイアス増強核形成ステップ
Diamond deposition by chemical vapor deposition process: Study of the bias enhanced nucleation step.
BARRAT S
(Ecole des Mines, Nancy, FRA)
,
SAADA S
(Ecole des Mines, Nancy, FRA)
,
DIEGUEZ I
(Ecole des Mines, Nancy, FRA)
,
BAUER-GROSSE E
(Ecole des Mines, Nancy, FRA)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 84 号： 4 ページ： 1870-1880 発行年： 1998年08月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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