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文献
J-GLOBAL ID：200902175882105624
整理番号：01A0083712
別個のTiとNiターゲットを用いたTiNi形状記憶合金膜の新しい製作法
Novel fabrication technique of TiNi shape memory alloy film using separate Ti and Ni targets.
OHTA A
(National Res. Lab. Metrology, Ibaraki, JPN)
,
BHANSALI S
(National Res. Lab. Metrology, Ibaraki, JPN)
,
KISHIMOTO I
(National Res. Lab. Metrology, Ibaraki, JPN)
,
UMEDA A
(National Res. Lab. Metrology, Ibaraki, JPN)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A86 号： 3 ページ： 165-170 発行年： 2000年11月15日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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