文献
J-GLOBAL ID:200902175966033157
整理番号:01A0700189
はしご型電極を用いた高周波励起SiH4プラズマの特性化
Characteristics of Very-High-Frequency-Excited SiH4 Plasmas using a Ladder-Shaped Electrode.
著者 (5件):
TAKEUCHI Y
(Mitsubishi Heavy Ind. Ltd., Nagasaki, JPN)
,
MASHIMA H
(Mitsubishi Heavy Ind. Ltd., Nagasaki, JPN)
,
MURATA M
(Mitsubishi Heavy Ind. Ltd., Nagasaki, JPN)
,
UCHINO S
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
KAWAI Y
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
40
号:
5A
ページ:
3405-3408
発行年:
2001年05月15日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)