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文献
J-GLOBAL ID：200902175969119745
整理番号：93A0582204
4インチSiウエハ上の均一ダイヤモンド皮膜
Uniform diamond coatings on 4 in Si wafers.
MUELLER C
(Microtechnique SA, Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE)
,
HAENNI W
(Microtechnique SA, Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE)
,
BINGGELI M
(Microtechnique SA, Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE)
,
HINTERMANN H E
(Microtechnique SA, Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 2 号： 8 ページ： 1211-1214 発行年： 1993年05月15日
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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