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文献
J-GLOBAL ID：200902175989310166
整理番号：93A0897928
The fastest real time spectroscopic ellipsometry: applications and limitations for in situ and quality control.
PIEL J-P
(SOPRA S.A., Bois-colombes, FRA)
,
STEHLE J-L
(SOPRA S.A., Bois-colombes, FRA)
,
THOMAS O
(SOPRA S.A., Bois-colombes, FRA)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 233 号： 1/2 ページ： 301-306 発行年： 1993年10月12日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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