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文献
J-GLOBAL ID：200902175996022818
整理番号：95A0945425
Ti(Y)N被覆層の調製とその特性
Preparation and properties of Ti(Y)N coatings.
YU Z
(Inst. Corrosion and Protection of Metals, Academia Sinica, Shenyang, CHN)
,
JIN Z
(Inst. Corrosion and Protection of Metals, Academia Sinica, Shenyang, CHN)
,
LIU C
(Inst. Corrosion and Protection of Metals, Academia Sinica, Shenyang, CHN)
,
YU L
(Inst. Corrosion and Protection of Metals, Academia Sinica, Shenyang, CHN)
,
DAI S
(Inst. Corrosion and Protection of Metals, Academia Sinica, Shenyang, CHN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 13 号： 5 ページ： 2303-2309 発行年： 1995年09月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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