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文献
J-GLOBAL ID：200902176069964187
整理番号：99A0739066
CH4/H2反応性イオンエッチングで製作したベンゾシクロブテン/半導体高反射ミラーを用いた多重マイクロキャビティレーザ
Multiple Micro-Cavity Laser with Benzocyclobutene/Semiconductor High Reflective Mirrors Fabricated by CH4/H2-Reactive lon Etching.
RAJ M M
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
TOYOSHIMA S
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
ARAI S
(Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 38 号： 7B ページ： L811-L814 発行年： 1999年07月15日
JST資料番号： F0599B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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