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文献
J-GLOBAL ID：200902176100716553
整理番号：96A0303468
ナノメータ尺度での2次元ドーパント濃度の定量的走査型静電容量顕微鏡解析
Quantitative Scanning Capacitance Microscopy Analysis of Two-Dimensional Dopant Concentrations at Nanoscale Dimensions.
ERICKSON A
(Univ. Utah, UT)
,
SADWICK L
(Univ. Utah, UT)
,
NEUBAUER G
(Intel Corp., CA)
,
KOPANSKI J
(National Inst. Standards and Technol., MD)
,
ADDERTON D
(Digital Instruments, CA)
,
ROGERS M
(Digital Instruments, CA)
資料名：
Journal of Electronic Materials
(Journal of Electronic Materials)
巻： 25 号： 2 ページ： 301-304 発行年： 1996年02月
JST資料番号： D0277B ISSN： 0361-5235 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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