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文献
J-GLOBAL ID：200902176259416801
整理番号：93A0513646
C3H6Ox-H2ガス混合物を用いて蒸着したダイヤモンド薄膜のキャラクタリゼーション
Characterization of diamond films deposited using C3H6Ox-H2 gas mixtures.
CHEN C-F
(National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN)
,
CHEN S-H
(National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN)
,
HONG T-M
(National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN)
,
WU S-H
(National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 2 号： 5/7 ページ： 732-736 発行年： 1993年04月13日
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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