文献
J-GLOBAL ID:200902176361134500
整理番号:93A0701881
VHF帯超音波共振法による薄板の厚さ測定
SUB-MICRON THICKNESS MEASUREMENT OF THIN PLATES BY VHF ULTRASONIC RESONANCE METHOD.
著者 (2件):
小久保旭
(東大 生産技研)
,
高木堅志郎
(東大 生産技研)
資料名:
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻:
93
号:
157(US93 18-25)
ページ:
21-28
発行年:
1993年07月22日
JST資料番号:
S0532B
ISSN:
0913-5685
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)