文献
J-GLOBAL ID:200902176510805405
整理番号:93A0986171
In situ-Charakterisierung von plasmaunterstuetzten Beschichtungsprozessen.
著者 (1件):
KOCH A
資料名:
Fortschritt-Berichte VDI. Reihe 08. Mess-, Steuerungs- und Regelungstechnik
(Fortschritt-Berichte VDI. Reihe 08. Mess-, Steuerungs- und Regelungstechnik)
号:
357
ページ:
162P
発行年:
1993年
JST資料番号:
B0554A
ISSN:
0178-9546
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
ドイツ語 (DE)