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文献
J-GLOBAL ID：200902176802782295
整理番号：93A0696980
けい素中の埋め込み欠陥に対する金及び白金の蓄積
Gold and platinum accumulation on buried defects in silicon.
ROHR P
(IN2P3, CNRS, Strasbourg, FRA)
,
GROB J J
(IN2P3, CNRS, Strasbourg, FRA)
,
SIFFERT P
(IN2P3, CNRS, Strasbourg, FRA)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 80/81 号： Pt 1 ページ： 640-643 発行年： 1993年06月
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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