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文献
J-GLOBAL ID：200902176817641965
整理番号：94A0624359
陽極酸化レジスト膜を用いたナノメータ電極の製造法と10GHz弾性表面波素子への応用
Nanometre electrode fabrication technology using anodic oxidation resist films and applications to 10GHz surface acoustic wave devices.
YAMANOUCHI K
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
MEGURO T
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
WAGATSUMA Y
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
ODAGAWA H
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
YAMAMOTO K
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
Electronics Letters
(Electronics Letters)
巻： 30 号： 12 ページ： 1010-1011 発行年： 1994年06月09日
JST資料番号： A0887A ISSN： 0013-5194 CODEN： ELLEAK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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