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文献
J-GLOBAL ID：200902176826122121
整理番号：93A0430861
熱陰極電離真空計のガス放出速度に及ぼす真空計壁材料の影響の比較
Comparative effects of gauge-wall materials on the outgassing rate of a hot-cathode ionization gauge.
WATANABE F
(Sukegawa Electric Co., Ltd., Ibaraki, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 11 号： 2 ページ： 432-436 発行年： 1993年03月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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