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文献
J-GLOBAL ID：200902176834471054
整理番号：00A0932984
PtをコートしたSi上に堆積したチタン酸鉛薄膜における応力の厚み依存性
Thickness dependence of stress in lead titanate thin films deposited on Pt-coated Si.
FU D
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
,
OGAWA T
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
,
SUZUKI H
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
,
ISHIKAWA K
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 77 号： 10 ページ： 1532-1534 発行年： 2000年09月04日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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